极佳重复性与线性度

• 采用直动式检测方式

• 可避免圆弧补正误差

• 可避免Bearing间隙误差

• 台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

高分辨率

• 纵轴最高分辨率0.1nm

• 横轴最高分辨率0.1um

• X测定速度可调：5μm~2mm/s

低测定力

• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定

• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

真直度保证-1

线性尺与时间取样

形状及粗度解析结果

粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种

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