半自动晶圆级探针台系统TS3000的特点与优势

MPI的TS3000是半自动300mm探针台测试系统，搭配独特的可开放式下做高低温测试，专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计，

并提供：

• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 最高温度范围-60°C至300°C

• 出色的的灵活性

• 具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的最小电缆距离，可实现更好的测量方向性

• 最小的卡盘到工作台面高度可实现较佳mmW和内部节点探测

• 通过在内部集成热系统的冷却器，将系统占地面积降至较低

IceFreeEnvironment™

结合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行微型定位器和(或)探针卡测试，并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。

探针悬停控制

MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制，以实现探针到晶圆的精确定位。

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