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半自动晶圆级探针台系统TS2000 Probe Systems简介返回列表

MPI TS2000是全球范围内公认的探针系统的自然演变,其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容,主要设

MPI TS2000是全球范围内公认的探针系统的自然演变,其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容,主要设计用于解决故障分析,设计验证,IC工程,晶圆级可靠性以及对MEMS、高功率、RF和mmW器件测试的特殊要求。

优势:

适用于多种量产型晶圆量测应用

• 模块量测 :DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 射频量测 :至高 110 GHz

• 高功率量产测试 : 至高 10 kV / 600 A

• 开放式温区:25°C至 300 °C

• 内置被动式防震系统

• 可乘载达 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具

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