超低温磁场探针台

半自动真空低温探针台使晶圆和器件在低温下9k(singleCCR系统)、4.5K(dualCCR系统)甚至低于4K(triple CCR系统)的情况下能够快速、经济地进行测试。低温探针台，设计用于支持在真空或气体环境中对高达100mm、150mm或高达300mm的晶圆进行自动动或半自动测试。 系统精度高、成本低、噪音低、使用方便。系统建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够配置来各种测试应用程序。

主要技术指标

· 可用于高达100mm、150mm和200mm的晶圆测试

· 可配置4或6个探针臂。

· 还可以选择探卡进行测试

· 显微镜选择包括7:1,12.5:1和16:1数码变焦显微镜

· BNC, Triax, DC pin and RF 可选

· 用于探针微米级定位的高分辨率探针臂

· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可选

· RF选件包括可定制的RF探头、RFchunk和屏蔽罩系统

· 具有良好的隔振性能

三维磁场探针台

MPS-C-350 可以完全将样品放在可控三维磁场进行测试的探针台。 MicroXact独特的设计使自旋电子器件、纳米电子器件和许多其他材料和器件的晶圆级测试成为可能。

主要技术指标

· 磁场可以以三种模式被任意控制:固定的值, 线性扫描, 或者用户可以自定义。

· Wafer size：10mm，可升级到200mm

· 磁场：方向任意三维最大6kOe (0.6T)

· 定向精度+/- 1.0

· 在10mm直径范围内的均匀性+/- 2%

· 稳定性优于0.1%

· 频率范围：DC to ~ 67GHz

· 分辨率：200mG

· CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.

· 运动范围:100mm x 100mm

· 集成MPS系列软件，可在完全可控的三维磁场中快速、简便地捕获图像/视频。

超低温半自动探针台

其提供了一个经济的, 稳定的, 可靠的超低温和强磁场环境用于微纳器件和芯片的测试. 得益于优异的振动隔离、热力学，使这套系统应用非常广泛， 横跨纳米电子学自旋电子学 , 分子电子学等。

系统使用闭循环制冷机和优异的热力学设计，特别设计的低振动系统，达到行业的优秀标准。超稳定的位移台为探针扎针测试提供一个可重复的测试结果。可选择性的探针和晶圆卡盘提供了超精密fA-级测试。 系统可进行DC/RF/毫米波/光纤等多种光电定位性能测试。

主要技术指标

· 高性价比, 稳定,可靠,使用方便

· 温度范围 10K -400K

· 4.2K- 480K (可选)

· 闭循环制冷，无需消耗液氦

· 样品座尺寸： 1英寸( 2英寸可选)

· DC - 325GHz 、HP、光纤臂可选

· 4个探针臂 (最多可选配6个探针臂)，高精度XYZ and 可选 θ 旋转调节

· 在探针上独特的热沉设计

· 样品座和防辐射屏温度可控

· 窗口(高纯石英-其他材质可选)

· 高频减震系统

· 可提供垂直、水平以及多维磁场垂直方向可达到5T，水平方向达到1T以及1T的多维磁场配置

· 系统集成Labview软件，可方便被客户进行仪表端集成

如果以上不能满足您的测试需求，我们将会提供高水平的定制服务