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日立新型冷场扫描电子显微镜-SU8600
产品概要:
随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。
SU8600秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
基本信息:
SU8600仪器采用最新型电子枪,在高亮度区域也可以稳定发射电子束。即使在低加速电压下,也可以获得高信噪比的图像,同时支持长时间测试以及大电流分析。
在面对不同的样品和分析目的时,需要调节SEM的许多参数。SU8600配备了自动电子光路调节功能,从光路对中到象散校正的一系列调整工作可以自动完成,可减少操作人员作业时间。
技术优势:
1、先进的自动化功能
·自动电子光学调节
·自动化数据采集,更高的检测效率
·采用高精度的压电样品台*可提高导航、回溯及大范围连续成像的准确性
2、兼具超高分辨率及分析扩展能力
·搭载日立的新型高亮度冷场发射电子源,即使在低加速电压下也可获得超高分辨的图像
·基于ExB的高效率信号采集系统。
·多种新型电子探测器*和丰富的选配项,满足更多的观测需求
3、强大的显示及交互特性
·原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间
·6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集,带来更多信息
·单次扫描最高支持40,960X30,720的超高像素*
应用方向:
主要应用于半导体器件、材料科学、生命科学等领域。
日立新型冷场扫描电子显微镜-SU8600
SU8600采用了冷场发射电子源、ExB、Super ExB等核心技术,且工作流程自动化,有着灵活的界面和样品室配置。